Une machine de revêtement PVD est un équipement industriel sophistiqué utilisé pour appliquer des revêtements en couches minces sur divers substrats via un processus appelé dépôt physique en phase vapeur. Dans ce processus, le matériau est vaporisé à partir d’une source solide dans une chambre à vide puis déposé sur l’objet cible. Les techniques PVD courantes incluent la pulvérisation cathodique et l’évaporation.

La machine se compose de plusieurs composants clés. Une chambre à vide poussé est essentielle pour éviter la contamination et permettre aux particules vaporisées de se déplacer sans entrave. À l’intérieur de la chambre, une source, telle qu’une cible de pulvérisation ou un bateau d’évaporation, retient le matériau de revêtement. Une alimentation électrique, souvent une source haute tension CC ou RF, fournit l’énergie nécessaire à la vaporisation du matériau. Les supports de substrat fixent les éléments à recouvrir et peuvent pivoter ou se déplacer pour assurer une couverture uniforme. Des systèmes de contrôle sophistiqués gèrent des paramètres tels que la pression, la température et le taux de dépôt.