Les composants électroniques uniformes fins du film 3C d'épaisseur nettoient à l'aspirateur l'équipement de revêtement de pulvérisation de magnétron de PVD

Principe de fonctionnement : Pulvérisez le dépôt est une méthode physique de (PVD) de dépôt en phase vapeur de dépôt de la couche mince par la pulvérisation. Ceci implique d'éjecter le matériel d'une « cible » qui est une source sur un « substrat » comme une gaufrette de silicium. Resputtering est re-émission du matériel déposé pendant le procédé de dépôt par bombardement d'ion ou d'atome. Les atomes pulvérisés éjectés de la cible ont une distribution large d'énergie, typiquement jusqu'aux dizaines d'eV (100 000 K). Les ions pulvérisés (en général seulement une petite part de particules éjectées sont ionisées — sur l'ordre de 1 pour cent) peuvent ballistique voler de la cible dans les lignes droites et l'impact énergétiquement sur les substrats ou le puits à dépression (causant resputtering). Alternativement, à des pressions de gaz plus élevées, les ions se heurtent les atomes de gaz qui agissent en tant que modérateur et se déplacent diffusif, atteignant les substrats ou le mur de puits à dépression et condensant après avoir subi une marche aléatoire. La gamme entière de l'impact ballistique de grande énergie au mouvement thermalisé à énergie réduite est accessible en changeant la pression de gaz de fond. Le gaz de pulvérisation est souvent un gaz inerte tel que l'argon. Pour le transfert de moment efficace, le poids atomique du gaz de pulvérisation devrait être proche du poids atomique de la cible, ainsi pour pulvériser le néon léger d'éléments est préférable, alors que pour les éléments lourds le krypton ou le xénon sont employés. Des gaz réactifs peuvent également être employés pour pulvériser des composés. Le composé peut être formé sur la surface de cible, en vol ou sur le substrat selon les paramètres de processus. La disponibilité de beaucoup de paramètres qui commandent pulvérisent le dépôt lui font un processus complexe, mais permettent également à des experts par grand degré de contrôle de la croissance et de la microstructure du film.

Caractéristique : facile de commander l'épaisseur et la couleur de film, l'amende et la particule douce de film

Application : produits 3C, montre, bijoux, etc.

Processus vert : aucun gaz néfaste, aucune eaux usées, aucun déchets.